高低温探针台

2014-04-09 11:26:59
仪器详细信息:
仪器名称
Name:
高低温探针台 
Probe Station
仪器型号
Model Number:
ST-500-2-(4TX-6PORTS)
生产商
Manufacture:
Janis Research Company
主要技术指标:
Specifications:
l ST-500低温真空探针台,振动水平 +/- 25 nm;漂移:+/- 150 nm 30分钟;
l 系统包括8 英寸样品台,可容纳8英寸样品。温度范围:液氦:6K-475K;液氮:80K-475K。温度均匀性+/-0.05K以内。
l 探针台提供6个探针臂端口,4个独立的微操作探针臂
主要配件:
Accessories:
l 系统快速升温包
l 9700控温仪
l 光学显微镜
l 爱德华TP-70-2分子泵
l 泵与探针台之间波纹管
l 减振桌
l 便携式超静音空气压缩机
l 50升液氮杜瓦
l 30升液氦杜瓦
应用范围:
Application:
6-475K温度范围内6-8寸wafer上器件I-V特性测试
联系人:
Contact:
林老师    0755-26032486  Xnlin@szpku.edu.cn