• 张海霞

  • 职称:教授、博导
  • 电话:+86-10-62758911-17
  • Email:zhanghx@ime.pku.edu.cn
  • 个人主页:http://ime.pku.edu.cn/mems/faculty/ Zhang/home.htm
研究方向:1、MEMS设计技术与工具开发; 2、SiC MEMS技术; 3、生物 MEMS技术; 4、纳米电子机械系统NEMS。
导师与研究领域、方向:

张海霞教授,1998年毕业于华中科技大学获得博士学位,之后加入清华大学做博士后研究。2001年加盟北京大学微电子学研究院。2004年至2006年,在美国加州大学戴维斯分校与凯斯西储大学任访问教授。现任中国微米纳米技术学会副秘书长,并担任全球华人微米纳米技术合作网络CINN执行主席,参与组织和承办IEEE NEMS等多个重要国际学术会议。担任4个国际一流杂志的审稿人(JMEMS,JMM,J. of Physics D: Applied Physics,以及<中国科学E辑:技术科学>。2006年获得国家技术发明二等奖。

研究方向包括:1、MEMS设计技术与工具开发;2、SiC MEMS技术;3、生物 MEMS技术;4、纳米电子机械系统NEMS

目前承担的主要科研项目:
作为项目主持人,主持了国家自然科学基金项目“DRIE工艺及其复杂现象的机理与建模研究”;科技部863项目“适用于植入式系统的无线能量和信号传输系统”和“ICP加工模型模拟与IP库”;973项目“纳机电结构加工工艺的评价与表征方法研究”;预研项目“特种MEMS薄膜生长技术及应用—碳化硅”;北京市自然科学基金项目“SiC材料制备工艺技术,结构特性及在MEMS中应用”等6个。作为骨干参加了4项国家和省部级科研项目的研究。

 

近5年来取得的主要成果:
主要创新性成果有以下几个方面:
(1) 2003年开发完成了国内第一套具有自主知识产权的MEMS CAD工具软件IMEE1.0,该软件目前已拥有来自10多个国家和地区的试用户500多家。2004年在国际上第一个提出刻蚀与钝化交替的DRIE模型,并在2005年与Intellisuite合作实现了商业化,目前已在全球销售20多套。
(2) 开创了PECVD SiC MEMS加工工艺与器件的研究,并创新地采用SiC薄膜封装技术将传统MEMS压力传感器的应用拓展到了高温腐蚀环境下。
(3) 2004年在国内首先开始了NEMS工艺的测试和表征研究。
(4) 2006年创新地提出了适用于植入式传感器网络的能量传播技术。
在JMM、Sensors & Actuators: A. Physical、MEMS03等国内外学术期刊和著名国际会议上发表学术论文50余篇,取得了申报软件著作权6项;参与编写教材一本。获得2006年度国家技术发明二等奖,2004年北京大学优秀班主任三等奖,2007年北京大学优秀青年教师教学奖。