• 康晋锋

  • 职称:教授
  • 电话:010-62756745
  • Email:jfkang@ime.pku.edu.cn
研究方向:新型存储器技术(包括器件、材料、工艺、设计);ULSI集成技术。
导师与研究领域、方向:

    康晋锋,北京大学信息科学技术学院微电子学系教授,博士生导师。1984年毕业于大连工学院物理系获理学学士; 1992和1995年在北京大学计算机系,分别获得半导体物理与器件专业理学硕士和理学博士学位。1984年至1989年在山西省分析测试中心任助理工程师;1996年至1997年,在北京大学微电子所从事博士后研究工作;1997开始在北京大学微电子所任副教授;2001年8月开始任教授。2002年至2003年以访问教授(Visiting Professor)身份受新加坡国立大学邀请开展合作研究一年。
    作为主要研究人员和课题负责人先后承担完成了国家九五科技攻关项目、国防科技预研项目、高等学校骨干教师资助计划、教育部科学技术研究重点项目等国家级和省部级科研项目课题。目前,作为课题负责人分别承担着863计划重大专项课题“0.09微米CMOS集成电路大生产工艺与可制造性”、国家973项目课题“新型栅结构材料研究”、国家自然科学基金项目“高K/金属栅CMOS器件性能退化机理研究”等任务。
    分别在新型高K栅介质/金属栅材料与CMOS器件集成技术研究;ULSI器件模型、结构和集成工艺技术;介质材料薄膜外延生长技术;超导薄膜技术和应用;新型铁电/铁磁存储器技术等方面取得了一系列创新性的研究成果。
    目前主要的研究领域包括:高K栅介质/金属栅材料与CMOS器件集成技术;超深亚微米器件模型、结构和集成技术(包括应力Ge-和Si-MOSFET);ULSI互连集成技术;新型存储器(FeRAM/MRAM)技术;自旋电子学材料、器件、工艺技术等。

研究方向1:新型存储器技术,包括基于高K/金属栅的SONOS器件结构和集成技术;阻变型存储器(RRAM)材料、结构和集成技术;铁电存储器(FRAM)结构、材料和集成技术;NVM(SONOS、RRAM、FRAM)专用电路设计
研究方向2:ULSI集成技术,包括适于45nm~22nm技术的器件结构和高K/金属栅集成技术;适于90nm~45nm器件和电路的可靠性模型和评估技术


目前承担的主要科研项目:
1.973项目课题:低功耗高可靠的新型非挥发性存储器件研究
2.自然科学基金课题:高K/金属栅CMOS器件性能退化机理研究
3.自然科学基金重点课题:用于SOC的新一代嵌入式铁电存储器材料、器件与兼容工艺
4.高等学校博士学科点基金 :新型高K栅介质可靠性问题研究


近5年来取得的主要成果:
1. J. Yang, J.F. Kang*, et al, “Poststress recovery mechanism of the negative bias temperature instability based on dispersive transport”, Appl. Phys. Lett. 90, p082908, 22 Feb 2007
2. J.F. Kang, et al, “Improved Electrical and Reliability Characteristics of HfN/HfO2 Gated nMOSFET with 0.95 nm EOT Fabricated Using a Gate-First Process”, IEEE Electron Device Letters, VOL. 26, pp.237 - 239, April 2005
3. N. Sa, J.F. Kang*, et al, “Mechanism of Positive-Bias Temperature Instability in Sub-1 nm TaN/HfN/HfO2 Gate Stack with Low Preexisting Traps”, IEEE Electron Device Lett. 26(9), pp.610-612, Sept. 2005
4. J.F. Kang, et al, “Thermal stability of nitrogen incorporated in HfNxOy gate dielectrics prepared by reactive sputtering”, Appl. Phys. Lett., 84 (9): 1588-1590 MAR 1 2004
5. H.Y. Yu, J.F. Kang, et al, “Thermally Robust High Quality HfN/HfO2 Gate Stack for Advanced CMOS Devices”, IEDM Tech. Dig, p.99~102, 2003.

备注: 
在深圳讲授《微电子前沿技术专题》。